(1)真空泵溫太高，1.被抽氣體溫度過高。應(yīng)讓氣體冷卻后再進入真空泵內(nèi)，2.吸入硬物使真空泵體磨損。應(yīng)拆開真空泵除去硬物，對劃傷部件進行修復(fù)或更換，3.真空泵冷卻水流Z不夠。應(yīng)加大冷卻水流量，4.裝配不當，使轉(zhuǎn)子軸心位移，造成單面磨損。應(yīng)拆開檢查并重新裝配。

(2)真空泵油有問題，1.油位過低。應(yīng)加足油量到油標中心線，2.油被沾污，油質(zhì)變壞。應(yīng)更換新油，3.油的牌號不符。應(yīng)換規(guī)定牌號的真空泵油，4.油路不通，真空泵腔內(nèi)沒有保持適當?shù)挠土?。?yīng)檢查油路及油閥的進油量，保持油路暢通。

(3)真空泵本身漏氣：1.密封圈漏氣。應(yīng)檢查所有密封部位的密封情況，更換破損的密封圈，2.氣鎮(zhèn)閥墊圈損壞：或未擰緊。應(yīng)更換墊圈并擰緊氣鎮(zhèn)閥；3.排氣閥片損壞，密封不好。應(yīng)更換氣閥片；4.真空泵中隔板壓入時過盈量太大，造成真空泵腔變形而漏氣。應(yīng)修整真空泵腔或更換，5.由于真空泵的端面油密封不良造成漏氣。應(yīng)拆開端蓋，檢查是否有雜物或不平整，并進行清洗或修理。

(4)轉(zhuǎn)子彈簧變形或折斷及旋片動作不靈。應(yīng)整修或更換彈簧變形，使轉(zhuǎn)子積旋片配合，

(5)進氣口的過濾網(wǎng)被堵塞。應(yīng)取下過濾網(wǎng)清洗干凈，再裝上去，

(6)因加工不良或磨損造成配合間隙過大。應(yīng)檢查真空泵腔、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，投規(guī)定的精度要求進行修復(fù)或更換。

(7)真空泵運轉(zhuǎn)中摩擦發(fā)熱.溫升太高，使真空泵油變稀，密封性變差。應(yīng)通冷卻水或用電風扇降溫，同時，檢查有關(guān)部件配合間隙并按規(guī)定精度要求進行修理或更換。